型号 Model No:STZ-VSF-5620-Pro
外形尺寸 Dimension:L4900xW4240xH3530 mm
有效工作尺寸 Available working size:L2140xW554xH683 mm
设备安装功率 Installtion power:240 KW
最高工使用温度 Working temperature 极限:1600°C
极限真空度 Ultimate pressure:≤7X10-1Pa
泄漏率 Leakage rate:≤1.33X10-4 Pa.m3/s
控温精度 Temperature control accur:1°C
温度均匀度 Temperature uniformity:±2°C
气氛 Atmosphere:真空、氩气、氮气Vacuum、N2、Ar
发热体 Heater:Graphite 石墨
温区数 Heating zones number:6
进气方式 Gas intake method:内&外进气 Internal&External gasintake