型号 Model No:VF-336
外形尺寸 Dimension:L2530xW2002xH2508 mm
有效工作尺寸 Available working size:L680xW300xH300 mm
设备安装功率 Installtion power:70KW
最高设计温度 Maximum design temperat:1550°C
极限真空度 Ultimate pressure:≤7x10-1Pa
泄漏率 Leakage rate:≤1.33x10-4 Pa.m3/s
控温精度 Temperature control accur:1°C
温度均匀度 Temperature uniformity:≤ 8°C
气氛 Atmosphere:Vacuum, nitrogen, argon 真空、氮气、氩气
发热体 Heater:Graphite 石墨